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太陽(yáng)能光伏擴散爐

太陽(yáng)能光伏擴散爐
供應商參考報價(jià):面議
  供應商信息
· 青島育豪微電子設備有限公司 [山東省] 加為商業(yè)伙伴
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聯(lián)系人: 朱先生
所在城市: 山東省 青島市
詳細地址: 青島市城陽(yáng)區流亭工業(yè)園協(xié)榮路3號
電子郵件: qdyuhaodz@126.com
公司電話(huà): 400 0532 778
傳真: 0532-87671266
手機: 13805320424
  
詳細信息  

◆工作溫度: 300~1300℃
◆有效口徑根據用戶(hù)擴散片確定,可訂制
◆恒溫區長(cháng)度: 1080mm(可根據用戶(hù)要求定制)
◆溫區精度 (靜態(tài)閉管測試):
      600℃<工作溫度<1200℃: ±0.5℃
      300℃≤工作溫度≤600℃: ±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩定性(靜態(tài)閉管測試):
      600℃<工作溫度<1200℃: ±0.5℃/24h
      300℃≤工作溫度≤600℃: ±1℃/24h
◆溫度斜變能力:
      ***大可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min
      ***大降溫速度(1300~900℃): 5℃/min 
◆氣體流量設定精度: ±2%FS
◆氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆自動(dòng)送料裝置行程: ~2000mm
      速度: 5~1000mm/min
      SiC漿承重 19kg
◆裝片數量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級(10000級廠(chǎng)房)
◆三相五線(xiàn)制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷卻水: 2~4Kgf/cm2,~8L/min

太陽(yáng)能電池擴散主要有開(kāi)管擴散和閉管軟著(zhù)陸擴散兩種形式
 
◆閉管磷擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,偏磷酸、CL2分開(kāi)收集處理;工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;各種工藝氣體可分開(kāi)送入石英管內,工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著(zhù)陸擴散方式工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾,工藝質(zhì)量完全受保護。
◆自動(dòng)化程度:自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。主控溫控模塊采用國外進(jìn)口,可在達到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式:懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉機構受腐蝕,影響推拉機構的精確性。
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